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kashiyama MU系列真空泵 ·在蝕刻等中等負(fù)載工藝中實現(xiàn)低功耗表現(xiàn) ·占地面積較同類 20,000L/min 泵縮小約 35% ·增強工藝耐久性并提高能源效率 ·符合各種標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)范產(chǎn)品規(guī)格 ·升級的工藝耐久性與節(jié)能性能

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